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磁控濺射
實驗須知
實驗提交后提交內容僅作為平臺實驗評估使用,不代表一定進行實驗。

樣品要求:

1. 主要用于Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Ru、Si、SiC、NiCr20、Nb20余種金屬及合金薄膜,TaN、TiN等復合材料。



聯系人
楊老師: 18301325784
  • Q
    是否需要回收樣品
  • 樣品 1
    樣品名稱
  • 1.1
    襯底成分
    * 請填寫測試樣品主要成分
  • 1.2
    襯底尺寸
    * 8寸及以下;長* 寬* 厚:
  • 1.3
    是否自備靶材
    * 支持靶材尺寸:直徑2英寸,厚度不超過0.25英寸
  • 1.4
    濺射金屬
    * 請填寫測試樣品濺射金屬名稱;Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Ru、Si、SiC、NiCr20、Nb等均可選;
  • 1.5
    濺射薄膜厚度
  • 1.6
    襯底溫度
    * 填寫襯底溫度
  • 1.7
    是否需要圖像化濺射
    * 圖形化濺射需要以附件上傳版圖
  • 1.8
    濺射前襯底是否需要清洗
    * 襯底表面不干凈可能會導致膜脫落
  • 1.9
    其他補充
點擊添加一組樣品
(當您的樣品測試要求或測試需求不一樣,您可以再增加一組樣品)
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合計費用約
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